MX8R / MX12R | 금속현미경

MX8R / MX12R 금속현미경 특징

효율적인 반도체 FPD 광학 검출 솔루션을 사용자에게 제공합니다.

다양한 크기의 웨이퍼 검사에 적용 가능한 4/6/8/12인치의 다양한 턴테이블을 갖춘 새로운 MX8R, MX12R 반도체 FPD 검사 현미경은 최대 300mm 웨이퍼 및 17인치 LCD 패널 검사를 지원합니다.
인체 공학적 디자인은 사용자에게 보다 편안하고 유연하며 효율적인 작동 경험을 제공하기 위해 전반적으로 향상되도록 설계되었습니다.

MX12R

인체 공학적 설계

내장형 유연한 핸들링 장치

■ 금속 재질의 MX12R 동체는 안정성이 우수합니다. 핸들링 장치가 내장 된 바닥의 밑 부분은 핸들링 장치가 내장 되어 돌려서 반대로 끼워 넣으면 단단한 이동 장비를 구성 할 수 있습니다. 이 장치의 설정은 기계의 무게를 고르게 분배 할 수 있으며 처리를 완료하는데 2인만 필요하므로 불균일한 무게 분포 및 충돌과 같은 운송 중에 많은 문제를 효과적으로 피할 수 있습니다.

■ 운송 중에 플랫폼이 움직이거나 손상을 입지 않도록 플랫폼을 잠궈 안정성을 보장하십시오

새로운 클러치 구동

■ MX12R 클러치 핸들은 사용자가 클러치 렌치를 유연하게 움직여 재물대를 움직일 수 있으며, 핸들을 집어서 오랜 시간을 들이지 않고 버튼을 눌러 빠르게 움직일 수 있습니다. 장시간 작업에 작업 속도를 가속화 할 수 있습니다.

■ 정밀 레일 구동 장치를 MX12R에 도입하여 가볍고 부드러우며 안정적입니다.

조절 가능한 헤드

0 – 35° 조절 가능한 시야각, 다양한 높이의 사용자에게 적합합니다. 작업 환경의 불필요한 요구 사항을 줄임으로써 다른 사용자가 장시간 작업으로 인한 불편함 및 피로감을 줄이기 위해 최상의 시점을 찾을 수 있으므로 작업 효율을 획기적으로 향상시킵니다.

더 손쉽고 효율적으로 작업 할 수 있도록 도와주는 버튼

■ MX12R 대물 렌즈 및 조리개는 쉽게 접근 할 수 있도록 계측기 바로 앞에 조작 버튼이 있는 새로운 모터 제어 시스템을 통합합니다.

■ 사용자 친화적인 전자장비는 수작업 단계를 피할뿐만 아니라 테스트를 보다 정확하고 유연하게 만듭니다.

안전하고 고속인 전동 회전판

■ 전진 및 후진 2개의 전환 모드로 필요한 관찰 배율을 빠르고 정확하게 찾을 수 있으며 위치 정확도를 반복작업 할 수 있습니다.

■ 기계식 전환 모드는 변환기의 수명을 효과적으로 향상시킵니다.

충격 방지 브라켓 디자인

■ 6단 구조, 저중심, 높은 안정성의 금속 동체는 강력한 내진 기능과 함께 이미지 품질 및 안정성을 보장합니다.

반사식 조명기

■ 조리개 및 대물 배율이 자동으로 일치하므로 수동으로 조정할 필요가 없으며 보다 효율적으로 다른 사용자가 동일한 관찰을 할 수 있습니다.

■ 암시야 모드 조리개는 자동으로 열리며 현미경 관찰 단순화를 위해 사용자의 전문적이고 기술적인 요구 사항을 줄입니다.

MX12RMOT

자동화 된 어플리케이션의 필요성을 충족해 줍니다

■ 새롭게 업그레이드 된 MX12RMOT는 완전 자동화된 작동 모드로 더욱 효율적인 테스트를 할 수 있습니다.

■ X/Y/Z 3축 자동 전자 제어, 자동 렌즈 변환, 자동 조리개

■ 완벽한 글로벌 이미지 관찰 분석, 모자이크 캡쳐기능 소프트웨어는 12인치 플랫폼 X / Y / Z 축 모션 제어 기능을 제공

■ 독립적인 핸들 플랫폼 조작은 부적절한 작동 및 스테이지 손상을 피하기 위해 더욱 간단하고 편리하게 움직입니다.

① Z축 초점
② 대물렌즈 회전판
③ 조리개 조절
④ 조명 강도 조정

MX12R은 명시야, 암시야, 편광, DIC 및 기타 관측 기능을 통합했습니다.

반도체, FPD, 회로 패키징, 회로 기판, 재료, 주물, 세라믹 부품, 정밀 연삭 공구 및 기타 테스트에 널리 사용됩니다.

MX8R

우수한 광학 시스템

다중-분할 비율 헤드 설계

■ 새로운 MX8R 렌즈 경통, 와이드 빔 이미징 시스템 디자인, 최대 시야 26.5mm를 지원하여 새로운 관찰를 경험할 수 있습니다.

■ 삼안헤드 접안 렌즈를 통해 보았을 때 같은 방향으로 샘플을 움직이게하여 작업을 더욱 편리하게 해줍니다.

■ 삼안헤드의 옵션 분할 비율은 100:0, 20:80, 0:100이며 접안렌즈로부터 20% 카메라로 80% Double-way Image 출력됩니다.

안전하고 안정적인 프레임

무게 중심이 낮고 강성이 강하며, 모든 금속 산업 테스트에서 높은 안정성과 내진성, 충격 흡수력, 관찰된 이미지의 안정성을 보장하십시오.

고성능 대물 렌즈 변환기

정밀 베어링 설계의 고성능 대물 렌즈, 가볍고 편안한 느낌, 반복 위치 정확성, 객관적인 회전 변경 후의 동심도 또한 잘 제어됩니다.

넓은 기계식 스테이지

■ 8인치 3층 기계식 기계식 스테이지는 웨이퍼 또는 FPD 테스트, 회로 패키징, 회로 기판, 재료, 주물, 세라믹 부품, 정밀 연마 테스트의 적절한 크기에 적용 할 수 있으며 두꺼운 표본을 관찰 할 수 있습니다. 스테이지 영역은 525mm × 330mm, 이동 범위는 210mm × 210mm, 클러치 핸들을 사용하여 모든 방향으로 움직일 수 있습니다.
■ 또 다른 옵션인 6인치 스테이지는 스테이지 영역 445mm × 240mm, 이동 범위 158mm × 158mm, 8인치와 같은 방식으로 작동합니다.

다양한 액세서리
다양한 작업 환경 및 관찰 모드를 충족
사실적이고 선명한 현미경 이미지를 보여줄 수 있습니다.

넓은 시야 범위의 접안 렌즈
■ 25mm 접안 렌즈 구성은 기존의 22mm 시야에 비해 시야가 넓고 안정적이며 선명하고 밝은 이미지를 보장하여 사용자에게 보다 편안한 시각적 경험을 제공합니다.
■ 더 많은 사용자의 요구를 충족시키기 위한 큰 범위의 디옵터 조절 범위를 제공합니다.

긴 작동거리의 대물 렌즈
■ 전문적인 semi-APO 금속 대물렌즈 셋트는 높은 투과율 렌즈와 첨단 코팅 시술을 사용합니다.
■ 대물 렌즈와 표본 사이를 전환 할 때 효과적으로 충돌을 피할 수 있는 긴 작동 거리 설계.
■ 각 렌즈는 엄격한 고 투광율 렌즈와 첨단 코팅 기술 채택으로 샘플 본래의 자연 색상을 재현합니다.

Normannski 미분 간섭 콘트라스트 시스템
■ 고성능 미분 간섭 부품 사용하여 밝은 영역은 현미경으로 레벨 차이를 감지 할 수 없으며 높은 콘트라스트의 밝기와 어둠으로 변환되고 입체감의 형태가 나타납니다. LCD 전도성 입자, 정밀 디스크 표면 스크래치 감지 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다.

MX12R / MX12RMOT 기술 사양

Optical System	Infinity color corrected optical system
Observation	Bright filed / Dark field / Polarizing / DIC
Viewing Head	Tilting trinocular head (Erect image), 0-35 degree adjustable, interpupillary distance: 50-76mm, splitting ratio: 100:0 or 0:100 Eyepiece
Eyepiece	High eye point wide field plan eyepiece PL10X/25mm, with adjustable diopter; reticle attachable
Objective	BD semi-APO DIC objective 5X/10X/20X/50X/100X
	Long working distance BD semi-APO DIC objective 20X
	Long working distance BD semi-APO objective 50X/100X
Nosepiece	Electronic BD sextuple nosepiece with DIC slot
Frame	Reflected frame with low position coaxial focus mechanism, coarse range: 35mm, fine precision: 0.001mm. With upper limit and tension adjustment. Built-in 100-240V wide voltage system
Frame	Transmitted & Reflected frame with low position coaxial focus mechanism, coarse range: 35mm, fine precision: 0.001mm. With upper limit and tension adjustment. Built-in 100-240V wide voltage system
Stage	14 X 12 inches three-layer mechanical stage with low position coaxial adjustment, size: 718mm X 420mm, moving range:356mm X 305mm; with clutch handle for quick movement; glass plate for reflected use.
Stage	495mm X 641mm electronic stage, moving range: 306mm X 306mm; (3+L/50) μm repeated positioning accuracy
Illumination	BD reflected illuminator, with electronic variable aperture and field diaphragm, center adjustable; with switch for changing bright and dark field; with slots for filters and polarizing kit
Camera Adapter	0.5X / 0.65X 1X C-mount adapte
Others	Polarizing kit; interference filters; high precision micrometer; DIC attachment